オリジナル製品
熱電特性測定装置
熱電特性測定装置
RZ2001i
製品名
熱電特性測定装置型番
RZ2001i
熱電変換材料の「ゼーベック係数」と「電気抵抗率」を高温大気中、真空下、各種ガス雰囲気下で測定可能な装置です。
バルク試料測定用電極と薄膜試料測定用電極を選択可能です。
ゼーベック係数は定常直流法、電気抵抗率は直流4端子（4探針）法で測定します。
本装置は産業技術総合研究所の技術指導により開発しました。
バルク試料測定用電極と薄膜試料測定用電極を選択可能です。
ゼーベック係数は定常直流法、電気抵抗率は直流4端子（4探針）法で測定します。
本装置は産業技術総合研究所の技術指導により開発しました。
特長
- 試料温度を室温＋α（20℃程度）～1000℃まで任意に可変して測定可能です。
- 大気、真空、各種ガス雰囲気での測定が可能です。
- バルク試料（角柱、円柱状）、薄膜試料の測定が可能です。
- 専用ソフトで測定状況のモニター及び測定結果の出力（CSV形式）が可能です。
▲バルク試料用電極
▲薄膜試料用電極
装置構成
・加熱炉
・制御盤
・測定用電極及び電極保持機構部
①標準電極：バルク（角柱、円柱状）試料用
②薄膜電極：薄膜試料用
・データ処理装置（PC及び計測プログラム）
・ガス置換機構部
・真空排気装置
・冷却水循環装置
仕様
| 測定方式 | ゼーベック係数：定常直流法、電気抵抗率：直流4端子（探針）法 | |
|---|---|---|
| 測定温度範囲 | 室温＋α（20℃程度）～1000℃ | |
| 測定雰囲気 | 酸化雰囲気、真空雰囲気、各種ガス雰囲気 | |
| 真空排気装置 | ダイヤフラムポンプ | |
| 試料寸法・形状 | バルク試料：角柱または円柱状（φ）約2～5mm✕長さ10～30mm 薄膜試料：膜厚10nm～100μm、長さ10～15mm、幅5～10mm、高さ1～5mm | |
| 必要設備 | AC100V 15A 50/60Hz（2系統） | |
| 外形寸法 | 800(W)✕450(D)✕730(H) mm （PC、真空排気装置、冷却水循環装置は含まず） | |
| 重量 | 約80kg （PC、真空排気装置、冷却水循環装置は含まず） | |