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オリジナル製品

熱電特性測定装置
RZ2001i

  • 製品名

    熱電特性測定装置
  • 型番

    RZ2001i
※本製品の機能に加え、熱拡散率も同時に計測可能な上位モデル「OZMA-1」もございます。

熱電変換材料の「ゼーベック係数」と「電気抵抗率」を高温大気中、真空下、各種ガス雰囲気下で測定可能な装置です。
バルク試料測定用電極と薄膜試料測定用電極を選択可能です。
ゼーベック係数は定常直流法、電気抵抗率は直流4端子(4探針)法で測定します。
本装置は産業技術総合研究所の技術指導により開発しました。

特長

  1. 試料温度を室温+α(20℃程度)~1000℃まで任意に可変して測定可能です。
  2. 大気、真空、各種ガス雰囲気での測定が可能です。
  3. バルク試料(角柱、円柱状)、薄膜試料の測定が可能です。
  4. 専用ソフトで測定状況のモニター及び測定結果の出力(CSV形式)が可能です。

※熱拡散率も同時に計測可能な上位モデル「OZMA-1」はこちら。

 

▲バルク試料用電極

 

▲薄膜試料用電極

 

装置構成

・加熱炉
・制御盤
・測定用電極及び電極保持機構部
  ①標準電極:バルク(角柱、円柱状)試料用
  ②薄膜電極:薄膜試料用
・データ処理装置(PC及び計測プログラム)
・ガス置換機構部
・真空排気装置
・冷却水循環装置

仕様

測定方式 ゼーベック係数:定常直流法、電気抵抗率:直流4端子(探針)法
測定温度範囲 室温+α(20℃程度)~1000℃
測定雰囲気 酸化雰囲気、真空雰囲気、各種ガス雰囲気
真空排気装置 ダイヤフラムポンプ
試料寸法・形状 バルク試料:角柱または円柱状(φ)約2~5mm✕長さ10~30mm
薄膜試料:膜厚10nm~100μm、長さ10~15mm、幅5~10mm、高さ1~5mm
必要設備 AC100V 15A 50/60Hz(2系統)
外形寸法 800(W)✕450(D)✕730(H) mm
(PC、真空排気装置、冷却水循環装置は含まず)
重量 約80kg
(PC、真空排気装置、冷却水循環装置は含まず)

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熱電特性測定装置RZ2001i

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