X線分析装置に関して

X線を使用する分析装置は数多くありますが、分析する目的によって適切な装置を選ぶ事が重要です。
主に元素を分析するもの、構造を分析するものなど分析法の分類と共にご紹介いたします。

また、蛍光X線分析装置は非破壊で簡単に元素分析を行う事ができる装置です。
蛍光X線分析装置の中でも、エネルギー分散型蛍光X線分析装置（以下、ED-XRF）に関しては、卓上や可搬式（ハンドヘルド）など様々な種類があります。

導入に向けたご検討の際に、求める分析結果を得るためにはどの装置を選べばよいか分からない、といったお悩みはございませんか？

今回は、ED-XRFが主に使用されている「異物分析」「有害物質の含有判定」「原材料検査」「膜厚測定」の４つの使用目的に合った、装置の選び方をご紹介しております。

ED-XRFをご検討中の方には、是非ご覧いただき装置選びのご参考にしていただければ幸いです。

資料のポイント

X線分析法の分類

X線が物質に照射されたときに発生する現象と、それを利用した分析装置をご紹介しております。
蛍光X線分析装置は、大きく分けて2種類に分類されます。

１．波長分散型蛍光X線分析装置（WD-XRF）

　WD-XRFは、物質から発生した蛍光X線の波長を分散させて各元素の特定波長を測定する装置です。
　「高精度・高分解能」「定量分析に最適」といった特長があります。

２．エネルギー分散型蛍光X線分析装置（ED-XRF）

　ED-XRFは、X線エネルギーを直接測定して元素を分析する装置です。
　「迅速な測定」「コンパクトで操作が簡単」といった特長があります。

エネルギー分散型蛍光X線分析装置（ED-XRF）の選定方法

ED-XRFにはいくつかの種類があり、分析したい目的によって必要な仕様が異なってきます。
主に使用されている「異物分析」「有害物質の含有判定」「原材料検査」「膜厚測定」の４つの目的に合った装置をそれぞれ紹介いたします。