MODEL RZ2001i

熱電特性測定装置

製品名 熱電特性測定装置本体
型番 MODEL RZ2001i
税別定価 ¥6,800,000(バルク試料用) ¥7,500,000(薄膜試料用)
概要

弊社の熱電特性測定装置は、熱電変換材料の熱起電力(ゼーベック係数)と電気導電率を高温大気中(※注1)、真空下又は各種ガス雰囲気下で自動測定する 測定装置です。
ゼーベック係数測定では、試料の両端に温度差を発生させた時に発生する熱起電力を測定し(定常直流法)、導電率測定では、試料に直流の定電流を 流した時の電圧降下を測定する(直流四端子法)(※注2)。得られた測定結果(ゼーベック係数と導電率)から自動的に出力因子を求めることが可能である。

※注1:雰囲気制御可能
※注2:産業技術総合研究所シナジーマテリアル研究センターの技術指導により開発されたシステム

特長
  • ・試料温度を室温20~1000℃まで170ステップ(任意可変)にて測定可能である。
  • ・酸化雰囲気、真空雰囲気及び各種ガス雰囲気下での測定が可能である。
  • ・試料の形状として、バルク形状(角柱・丸柱)、薄膜形状(Thin Film基板)について対応可能である。
  • ・導電率、熱起電力を同時に測定することが可能である。
  • ・測定は完全自動化され、試料セッティング後に計測用ソフトウエアを起動する(スイッチ操作)を行うことで自動計測が可能である。
  • ・測定結果は全てファイル形式(CSV)で出力が可能である。
  • ・本装置は省スペース、省エネ設計(商用電源AC100V仕様)である。
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装置構成
1.熱電特性測定部本体(加熱部を含む)) 1台
2.ガス置換用自動リーク機構付排気系 1台
3.データ処理装置 1式
・本体         専用PC(Windows10Professional)
・モニタ        19インチ以上液晶モニタ
・プリンタ       モノクロA4レーザープリンタ
・ソフトウエア     熱電特性自動計測ソフト
       標準電極 「DENCERA TE-H-OZ Ver1.30」
       薄膜電極 「DENCERA TE-H Thin-Film Supplementary Ver.0.1」
仕様
1.測定方式 熱起電力(α):定常直流法、導電率(δ):直流4端子(探針)法
2.測定温度範囲 室温+20~1,000℃、温度設定ステップ数最大:170
3.測定雰囲気 酸化雰囲気、真空雰囲気、各種ガス雰囲気対応
4.試料形状、寸法 バルク試料:角柱・円柱状 約2~5mm 長さ10mm~30mm    薄膜試料:幅10mm~15mm 高さ5mm~10mm 膜厚10nm~100μm
5.差温制御範囲 20℃以上 温度差設定変更可能
6.ヒータ 無誘導巻きカンタル A-1 100V 0.8KW
7.発生電流 最大220mA、出力追従電圧32V
8.電圧分解能 100nV(100mVレンジ)
9.真空排気装置 ドライポンプ(15L/毎分)
10.プログラム 実行形式
11.冷却水水量 最大流量毎分4L/min以上の循環ポンプ(50/60Hz)
12.電源 AC100V 15A 50/60Hz
13.寸法(本体) W800mm×D450mm×H730mm(突起物を除く)
14.重量 約80Kg